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產(chǎn)品中心半導體光學檢測系列SiC襯底位錯缺陷無損檢測系統(tǒng)
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產(chǎn)品分類
碳化硅襯底檢測,碳化硅成像檢測,碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統(tǒng)：最高檢測速度：＜17min/片（6“）；BPD、TSD、TED分類識別。
更新時間：2025-05-07
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